1、招标条件
项目概况:采购TEL Lithius型号涂胶显影机(inline)及ASML XT1400F型号DUV光刻机旧设备，各1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:陕西光电子先导院科技有限公司涂胶显影机(inline)及DUV光刻机采购
项目实施地点:中国陕西省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	TEL Lithius型号涂胶显影机(inline)旧设备	1台	Lithius涂胶显影设备用于8英寸(200mm)notch wafer inline ArF硅光工艺平台光刻制程中的涂胶显影工艺
2	ASML XT1400F型号DUV光刻机旧设备	1台	ASML XT1400F设备用于8英寸(200mm)notch wafer inline 193nm ArF硅光工艺平台，通 过投影成像方式，把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的曝光在涂有胶层的硅片表面实现光刻制程中的曝光工艺

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人：
a.合法注册（投标人为独立法人）
b.如投标人非设备制造厂商，须提供原装设备购买合同或归属权证明资料，以证明材料须能证明此设备属于投标人。
c.投标人持有开户银行在开标日期前三个月内开具的资信证明（境内投标人由其开立基本账户的银行开具）。
d.持有单位负责人授权书。
2) 业绩要求:近三年（2021年1月起至今）投标同类产品（至少包含DUV光刻机设备）在中国大陆或港澳台地区具有正常使用业绩。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-06-26
招标文件领购结束时间:2024-07-03
招标文件售价:￥1000/$150
其他说明:发售时间为工作日，每天8:30-11:30时,13:30-16：30时止
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-07-17 10:00……

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